测量范围不平度平均高度值（微米）

>0.8-1.6

>1.6-6.3

>6.3-20

>20-80

表面光洁度（级别）

9

8~7

6~5

4~3

所需物镜

60X/0.55

30X/0.40

14   X/0.20

7X/0.12

总放大倍数

510X

260X

120X

60X

物镜组件工作距离（mm）

0．04

0．2

2．5

9．5

视场（mm）

0.3

0.6

1.3

2.5

摄影装置放大倍数

约6倍

测量不平度范围

（0.8-80）微米

不平宽度

用测微目镜：0.7微米-2.5毫米

用座标工作台：（0.01-13）毫米

仪器重量约

25公斤

外形尺寸（mm）

约180*290*470毫米

1

光切法主机

台

1

2

测微目镜

只

1

3

底座工作台

件

1

4

V型块

件

1

5

标准刻尺

件

1

6

物镜：7X.14X.30X.60X

只

各1

7

LED照明器

套

1

8

电源线

根

1

9

装箱单

份

1

10

说明书

份

1