工作台行程

5 mm

测杆移动范围

0.5mm

分划板刻度范围

±50格

直接测量范围

5-20μm

分度值调整范围

0.05-0.2 μm

推荐使用分度值

0.1 μm

测量压力

 (1.5±0.1) N

仪器示值稳定性

0.02 μm

仪器误差

±（0.03+1.5ni △λ/λ）um    n 是格数, i是格值,λ是滤光片中心波长，△λ是滤光片波长误差  

1

五筋园台

件

1

2

九筋玛瑙台

件

1

3

可调园平台

件

1

4

辅助台

件

1

5

平面测帽   Ф2

件

1

6

小球面测帽

件

1

7

干涉滤光片

件

1

8

装箱单

份

1

9

随机文件

份

1